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 Correlative characterization of plasma etching resistance of various aluminum garnets 各种铝石榴石耐等离子体腐蚀性的相关特性
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期刊：Journal of the American Ceramic Society 作者：Christian Stern; Christian Schwab; Moritz Kindelmann; Mark Stamminger; Thomas E. Weirich; et al 出版日期：2024-06-16 |
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