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  Microstructure and initial growth characteristics of the low temperature microcrystalline silicon films on silicon nitride surface 氮化硅表面低温微晶硅薄膜的微观结构和初始生长特性
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：Young-Bae Park; Shi‐Woo Rhee 出版日期：2001-07-01 |
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