Fabrication of microstructures in photoetchable glass ceramics using excimer and femtosecond lasers

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标题	Fabrication of microstructures in photoetchable glass ceramics using excimer and femtosecond lasers 准分子和飞秒激光制备光刻微晶玻璃微结构相关领域激光器材料科学制作飞秒表面微加工准分子激光器激光加工机械加工陶瓷光学光电子学微观结构准分子激光束复合材料冶金医学物理替代医学病理
网址	https://doi.org/10.1117/1.1759330
DOI	10.1117/1.1759330 doi
其它	期刊：Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS 作者：Joohan Kim 出版日期：2004-07-01
求助人	汉堡麻麻在 2025-03-13 23:01:28 发布自安徽，悬赏 20 积分
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