Effects of structured electrodes on electron power absorption and plasma uniformity in capacitive RF discharges

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标题	Effects of structured electrodes on electron power absorption and plasma uniformity in capacitive RF discharges 结构电极对电容射频放电中电子功率吸收和等离子体均匀性的影响相关领域沟槽等离子体材料科学原子物理学电极电子容性耦合等离子体电离吸收（声学）薄脆饼离子光电子学化学物理感应耦合等离子体纳米技术图层（电子）有机化学复合材料物理化学量子力学
网址	https://doi.org/10.1116/6.0001327
DOI	10.1116/6.0001327 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Li Wang; Péter Hartmann; Zoltán Donkó; Yuan-Hong Song; Julian Schulze 出版日期：2021-10-26
求助人	kjwu 在 2025-03-04 07:13:02 发布自陕西，悬赏 10 积分
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