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标题
An amplitude-based temperature compensated MEMS resonant pressure sensor with single resonator
基于振幅的单谐振器温度补偿MEMS谐振压力传感器
相关领域
谐振器 微电子机械系统 振幅 压力传感器 材料科学 声学 光电子学 物理 光学 工程类 机械工程
网址
https://doi.org/10.1016/j.measurement.2024.115683
DOI
10.1016/j.measurement.2024.115683 doi
其它 期刊：Measurement
作者：Wenliang Xia; Yulan Lu; Bo Xie; Deyong Chen; Junbo Wang; et al
出版日期：2024-09-07
求助人
踏实的糖豆 在 2025-04-08 09:33:33 发布自重庆，悬赏 10 积分
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