Study on controlling the profile of holographic ion beam etching gratings

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标题	Study on controlling the profile of holographic ion beam etching gratings 全息离子束刻蚀光栅轮廓控制研究相关领域全息术材料科学蚀刻（微加工）制作光刻胶光学反应离子刻蚀栅栏离子束梁（结构）光电子学聚焦离子束衍射光栅离子纳米技术化学物理有机化学病理替代医学医学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.866035
DOI	10.1117/12.866035 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Quan Liu; Haibin Wang; Jianhong Wu; Peng Sun; Guolin Qian; et al 出版日期：2010-05-13
求助人	zml 在 2024-06-19 19:26:39 发布自美国，悬赏 20 积分
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