Spatial distribution and transport mechanism of electrons in large and powerful inductively coupled plasma sources with Faraday shield

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标题	Spatial distribution and transport mechanism of electrons in large and powerful inductively coupled plasma sources with Faraday shield 大容量法拉第屏蔽电感耦合等离子体源中电子的空间分布和输运机制相关领域物理等离子体电子温度电子电子密度原子物理学感应耦合等离子体法拉第笼电场法拉第效应计算物理学磁场量子力学
网址	https://doi.org/10.1063/5.0082977
DOI	10.1063/5.0082977 doi
其它	期刊：Physics of Plasmas 作者：Qiang Wang; Chao Chen; Yunqiu Cui; Chunjie Niu; Weifeng Liu; et al 出版日期：2022-04-01
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