Effect of Plasma-Assisted N2o/Ar Oxidation on Topcon Solar Cells

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标题	Effect of Plasma-Assisted N2o/Ar Oxidation on Topcon Solar Cells 等离子体辅助N2o/Ar氧化对Topcon太阳电池的影响相关领域钝化等离子体增强化学气相沉积化学气相沉积体积流量分析化学（期刊）氧化物图层（电子）接触电阻电阻率和电导率材料科学化学光电子学复合材料冶金物理电气工程工程类量子力学色谱法
网址	https://doi.org/10.2139/ssrn.4481095
DOI	10.2139/ssrn.4481095 doi
其它	期刊：作者：Jiabin Huang; Zengchao Zhao; Ming Li; Jun Cheng; X. R. Zhou; et al 出版日期：2023-01-01
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