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标题
High-performance indium-free flexible transparent ATO/Au/ATO tri-layer films by magnetron sputtering
磁控溅射制备高性能无铟柔性透明ATO/Au/ATO三层膜
相关领域
材料科学 图层(电子) 溅射沉积 溅射 光电子学 腔磁控管 工程物理 冶金 纳米技术 薄膜 工程类
网址
DOI
10.1016/j.ceramint.2021.09.113 doi
其它 期刊:Ceramics International
作者:Wei Peng; Lingxia Li; Shihui Yu; Pan Yang; Kangli Xu
出版日期:2022-01-01
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