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标题
Manufacturing and Measurement of CMOS-MEMS-Based Micro Thermoelectric Generators with Long-Length Thermocouples
基于CMOS-MEMS的长热电偶微型热电发生器的制造与测量
相关领域
热电偶 热电效应 CMOS芯片 材料科学 热电发电机 电压 制作 电气工程 微电子机械系统 光电子学 机械工程 工程类 复合材料 热力学 物理 医学 替代医学 病理
网址
DOI
10.1088/1361-6439/ad520b doi
其它 期刊:Journal of Micromechanics and Microengineering
作者:Zhi‐Xuan Dai; Chunyu Chen; Bornain Chiu; Chi‐Yuan Lee
出版日期:2024-05-30
求助人
1577 在 2024-09-19 19:25:10 发布自上海,悬赏 10 积分
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