标题 |
Manufacturing and Measurement of CMOS-MEMS-Based Micro Thermoelectric Generators with Long-Length Thermocouples
基于CMOS-MEMS的长热电偶微型热电发生器的制造与测量
相关领域
热电偶
热电效应
CMOS芯片
材料科学
热电发电机
电压
制作
电气工程
微电子机械系统
光电子学
机械工程
工程类
复合材料
热力学
物理
医学
替代医学
病理
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期刊:Journal of Micromechanics and Microengineering 作者:Zhi‐Xuan Dai; Chunyu Chen; Bornain Chiu; Chi‐Yuan Lee 出版日期:2024-05-30 |
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