A study on the correlation between pad property and material removal rate in CMP - 科研通

发布文献求助

清晨好，您是今天最早来到科研通的研友！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整的填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您科研之路漫漫前行！

已完结

文献求助详情

标题	A study on the correlation between pad property and material removal rate in CMP 化学机械抛光垫性能与材料去除率的相关性研究相关领域化学机械平面化薄脆饼磨料材料科学抛光复合材料表面光洁度泥浆表面粗糙度润滑冶金纳米技术
网址	https://doi.org/10.1007/s12541-011-0123-7
DOI	10.1007/s12541-011-0123-7 doi
其它	期刊：International journal of precision engineering and manufacturing/International Journal of the Korean Society of Precision Engineering 作者：Chang-Suck Lee; Hojun Lee; Moon-Ki Jeong; Haedo Jeong 出版日期：2011-10-01
求助人	祁之在 2024-05-30 13:32:37 发布自湖北，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，破除各种障碍，优化资源分配，让科研信息充分流通

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: music007完成签到，获得积分10

19秒前; jyy的应助被科研通管家采纳，获得10

29秒前; fareless完成签到，获得积分10

1分钟前; HLT完成签到，获得积分10

1分钟前; 嬗变的天秤完成签到，获得积分10

2分钟前; 有人关闭了琦琦的文献求助

3分钟前; 有人关闭了冷艳的幻桃的文献求助

3分钟前; 有人关闭了小郭的文献求助

3分钟前; 有人关闭了温敏的文献求助

3分钟前; 英姑上传了应助文件

3分钟前; 有人关闭了平凡的一天的文献求助

3分钟前; 有人关闭了Yiyi的文献求助

3分钟前; 有人关闭了天空之城的文献求助

3分钟前; 有人关闭了chrystelle的文献求助

3分钟前; 有人关闭了哞哞的文献求助

3分钟前; 有人关闭了花花呀的文献求助

4分钟前; 有人关闭了舒适的石头的文献求助

4分钟前; 有人关闭了啦啦啦的文献求助

4分钟前; 有人关闭了欣慰问凝的文献求助

4分钟前; 有人关闭了DagrZheng的文献求助

4分钟前; 有人关闭了cryscilla的文献求助

4分钟前; 有人上传了应助文件

5分钟前; 有人上传了应助文件

5分钟前; 科研通AI2S的应助被liudy采纳，获得10

5分钟前; 有人上传了应助文件

5分钟前; QiaoHL完成签到，获得积分10

5分钟前; 有人上传了应助文件

5分钟前; 有人上传了应助文件

5分钟前; 有人关闭了well的文献求助

6分钟前; 有人上传了应助文件

6分钟前; 有人上传了应助文件

7分钟前; 十二完成签到，获得积分10

7分钟前; 有人上传了应助文件

7分钟前; Airi发布了新的文献求助10

7分钟前; 有人上传了应助文件

7分钟前; 科研通AI2.0上传了应助文件

7分钟前; 有人上传了应助文件

7分钟前; 有人上传了应助文件

7分钟前; Ava的应助被Airi采纳，获得10

8分钟前; Tiger发布了新的文献求助10

8分钟前

高分求助中: The Oxford Handbook of Social Cognition (Second Edition, 2024) 1050; Kinetics of the Esterification Between 2-[(4-hydroxybutoxy)carbonyl] Benzoic Acid with 1,4-Butanediol: Tetrabutyl Orthotitanate as Catalyst 1000; The Young builders of New china : the visit of the delegation of the WFDY to the Chinese People's Republic 1000; Rechtsphilosophie 1000; юрские динозавры восточного забайкалья 800; English Wealden Fossils 700; Handbook of Qualitative Cross-Cultural Research Methods 600

热门求助领域（近24小时）

热门帖子: 关注科研通微信公众号，转发送积分 3139610; 求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 2790479; 关于积分的说明 7795355; 捐赠科研通 2446958; 什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1301526; 科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 626259; 版权声明 601176

今日热心研友

注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10

Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved

科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力

本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播

皖ICP备2024041134号-1

皖公网安备34019202002308

科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：826996720【点击一键加群】

科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入

关注微信服务号

科研通