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 Investigation into the growth mode of GaN thin films on 4H–SiC substrates via plasma-enhanced atomic layer deposition 等离子体增强原子层沉积法在4H-SiC衬底上生长GaN薄膜的研究
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期刊：Vacuum 作者：Jin Yang; Peng Qiu; Ye Li; Meng-Chao Du; Delin Kong; et al 出版日期：2024-03-01 |
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