High-aspect nano-groove fabrication in thick film resists using 150-kV high acceleration voltage electron beam lithography

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标题	High-aspect nano-groove fabrication in thick film resists using 150-kV high acceleration voltage electron beam lithography 使用150kV高加速电压电子束光刻在厚膜抗蚀剂中制作高纵横比纳米凹槽相关领域抵抗电子束光刻材料科学加速电压平版印刷术阴极射线下降（电信）光学沟槽（工程）制作加速度电子光电子学纳米技术物理电气工程工程类病理冶金经典力学医学量子力学替代医学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2021.11.014
DOI	10.1016/j.precisioneng.2021.11.014 doi
其它	期刊：Precision engineering 作者：Tatsuki Sugihara; Satoshi Nagai; Arata Kaneko 出版日期：2022-03-01
求助人	巫傲柔在 2024-07-23 08:49:59 发布自重庆，悬赏 10 积分
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