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 Transient analysis and process optimization of the spatial atomic layer deposition using the dynamic mesh method 基于动态网格法的空间原子层沉积瞬态分析及过程优化
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期刊：Chemical engineering science 作者：Wentao Cong; Zoushuang Li; Kun Cao; Guang Feng; Rong Chen 出版日期：2020-05-01 |
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