Effective metrology and standard of the surface roughness of micro/nanoscale waveguides with confocal laser scanning microscopy

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标题	Effective metrology and standard of the surface roughness of micro/nanoscale waveguides with confocal laser scanning microscopy 共焦激光扫描显微镜对微/纳米波导表面粗糙度的有效计量和标准相关领域材料科学光学表面计量学扫描电子显微镜表面粗糙度表面光洁度计量学显微镜轮廓仪复合材料物理
网址	https://doi.org/10.1364/ol.44.000747
DOI	10.1364/ol.44.000747 doi
其它	期刊：Optics Letters 作者：DeGui Sun; Hongpeng Shang; Huilin Jiang 出版日期：2019-02-15
求助人	Frozen 在 2024-05-23 17:04:46 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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