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 Silicon defects characterization for low temperature ion implantation and RTA process 低温离子注入和RTA工艺中硅缺陷的表征
相关领域
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材料科学
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期刊：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 作者：Diego Martirani Paolillo; G. Margutti; M. De Biase; M. Barozzi; D. Giubertoni; et al 出版日期：2015-12-01 |
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