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 Equivalent Measurement and Real-Time Compensation of Error Caused by Intensity Change in Deep Sub-Nanometer Displacement Measuring Interferometry 深亚纳米位移干涉测量中强度变化误差的等效测量及实时补偿
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期刊：Photonics 作者：Jianbo Wang; Yao Sun; Xu Xing; Pengcheng Hu; Di Chang; et al 出版日期：2022-09-30 |
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