Quick Cavity Filling in UV Nanoimprint Using Pentafluoropropane

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标题	Quick Cavity Filling in UV Nanoimprint Using Pentafluoropropane 五氟丙烷在紫外纳米压印中的快速空腔填充相关领域模具气泡材料科学收缩率工作（物理）复合材料体积热力学纳米压印光刻纳米技术机械热力学制作物理医学病理替代医学
网址	https://doi.org/10.1143/jjap.47.5151
DOI	10.1143/jjap.47.5151 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Hiroshi Hiroshima 出版日期：2008-06-01
求助人	彩色半烟在 2023-12-22 15:02:43 发布自浙江，悬赏 10 积分
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