Compensated differential Zernike fitting method for wavefront aberration metrology based on grating lateral shearing

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标题	Compensated differential Zernike fitting method for wavefront aberration metrology based on grating lateral shearing 相关领域光学泽尼克多项式波前剪切（物理）剪切干涉仪物理栅栏自适应光学计量学材料科学天文干涉仪干涉测量热力学
网址	https://doi.org/10.1364/AO.441092
DOI	10.1364/AO.441092 doi
其它	期刊：Applied Optics 作者：Peng Li; Feng Tang; Xiangzhao Wang 出版日期：2021
求助人	杨御在 2022-05-25 10:51:35 发布，悬赏 10 积分
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