| 标题 |
 Suppressing channel-shortening effect of self-aligned coplanar Al-doped In-Sn-Zn-O TFTs using Mo-Al alloy source/drain electrode as Cu diffusion barrier 相关领域
材料科学
退火（玻璃）
薄膜晶体管
扩散阻挡层
合金
兴奋剂
阻挡层
氧化物
分析化学（期刊）
光电子学
扩散
纳米技术
冶金
图层（电子）
化学
物理
热力学
色谱法
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| 网址 | |
| DOI |
10.1016/j.jallcom.2020.158227
doi
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| 其它 |
期刊：Journal of Alloys and Compounds 作者：Wooseok Jeong; Jörg Winkler; Hennrik Schmidt; Kwang-Heum Lee; Sang-Hee Ko Park 出版日期：2021 |
| 求助人 |
jie.cr 在
2021-02-17 16:19:58 发布，悬赏 10 积分
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