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 Reliability assessment of electrostatically driven MEMS devices: based on a pulse-induced charging technique 相关领域
微电子机械系统
可靠性（半导体）
材料科学
电压
光电子学
电子工程
电容感应
电气工程
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| DOI |
提醒：求助人提供的doi与AI识别不一致
10.1088/0960-1317/22/4/045016
Doi
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| 求助人 |
轩辕乌 在
2021-11-04 22:16:52 发布，悬赏 10 积分
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