Characteristics of Sapphire Wafers Polishing Depending on Ion Conductivity of Silica Sol

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标题	Characteristics of Sapphire Wafers Polishing Depending on Ion Conductivity of Silica Sol 相关领域化学机械平面化材料科学抛光磨料薄脆饼表面粗糙度复合材料蓝宝石胶体二氧化硅磨损（机械）冶金纳米技术涂层光学物理激光器
网址	https://doi.org/10.3740/mrsk.2015.25.1.21
DOI	10.3740/mrsk.2015.25.1.21 doi
其它	期刊：Korean Journal of Materials Research 作者：Ho Seong Na; Gyeong Sook Cho; Dong-Hyun Lee; Min-Gyeong Park; Dae Sung Kim; et al 出版日期：2015-01-27
求助人	羽毛在 2023-01-18 20:04:05 发布自浙江，悬赏 10 积分
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