Accurate determination of 3D PSF and resist effects in grayscale laser lithography

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标题	Accurate determination of 3D PSF and resist effects in grayscale laser lithography 相关领域材料科学抵抗平版印刷术光学光刻光电子学激光器极紫外光刻制作航空影像光刻胶下一代光刻
网址	https://doi.org/10.1117/12.2326007
DOI	10.1117/12.2326007 doi
其它	期刊：34th European Mask and Lithography Conference 作者：Jo Finders; Uwe F. Behringer; Andreas Erdmann; Holger Sailer; Corinna Kaspar; Temitope Onanuga 出版日期：2018
求助人	Ahping 在 2021-11-30 18:07:33 发布，悬赏 20 积分
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