标题 |
Compact field programmable gate array (FPGA)-based multi-axial interferometer for simultaneous tilt and distance measurement in the sub-nanometre range
相关领域
干涉测量
倾斜(摄像机)
现场可编程门阵列
纳米
航程(航空)
光学
门阵列
物理
计算机科学
材料科学
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其它 |
期刊:Measurement Science and Technology 作者:Sebastian Strube; Gabor Molnar; Hans-Ulrich Danzebrink 出版日期:2011-09-01 |
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