Design of electrostatic actuated MEMS biaxial scanning micro-mirror with serpentine structure

已完结

文献求助详情

标题	Design of electrostatic actuated MEMS biaxial scanning micro-mirror with serpentine structure 蛇形结构静电驱动MEMS双轴扫描微镜的设计相关领域万向节微电子机械系统光学电压扭转（腹足类）材料科学制作旋转（数学）扭力弹簧电极物理光电子学计算机科学医学外科替代医学病理量子力学经典力学人工智能
网址	https://doi.org/10.1016/j.matpr.2022.06.120
DOI	10.1016/j.matpr.2022.06.120 doi
其它	期刊：Materials Today: Proceedings 作者：Dhrubajyoti Sadhukhan; Gajendra Prasad Singh 出版日期：2022-01-01
求助人	轩辕乌在 2024-03-08 21:56:12 发布自陕西，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

有了科研通，下载文献真轻松！

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: Candice上传了应助文件

2秒前; 隐形白开水完成签到，获得积分10

3秒前; 个性的海秋发布了新的文献求助10

3秒前; 悦耳的香岚发布了新的文献求助10

4秒前; yjy完成签到，获得积分20

4秒前; 蓝天0812完成签到，获得积分10

6秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

6秒前; 西贝知了完成签到，获得积分10

6秒前; ttt完成签到，获得积分10

11秒前; Stormi完成签到，获得积分20

13秒前; bkagyin上传了应助文件

14秒前; 悦耳的香岚完成签到，获得积分10

15秒前; 什么都好完成签到，获得积分10

19秒前; 唐荣发布了新的文献求助10

19秒前; 炎魔之王拉格纳罗斯完成签到，获得积分10

20秒前; 奶茶给我一口关注了科研通微信公众号

20秒前; 奶茶给我一口关注了科研通微信公众号

20秒前; 王锦源上传了应助文件

21秒前; 深海鳕鱼完成签到，获得积分10

22秒前; tjfwg完成签到，获得积分10

23秒前; 方赫然的应助被可是你不懂采纳，获得30

23秒前; Lucky完成签到，获得积分10

24秒前; 唐荣完成签到，获得积分10

24秒前; 丘比特的应助被niu采纳，获得10

25秒前; 田様上传了应助文件

25秒前; 断鸿完成签到，获得积分10

25秒前; 科研通AI2S的应助被哇哇哇哇采纳，获得10

25秒前; Orange的应助被典雅的寄真采纳，获得10

26秒前; 菜菜发布了新的文献求助10

29秒前; Billy上传了应助文件

30秒前; 君君完成签到，获得积分10

31秒前; 小希发布了新的文献求助10

31秒前; xty上传了应助文件

31秒前; CucRuotThua完成签到，获得积分10

32秒前; 研友_VZG7GZ上传了应助文件

33秒前; 斯文败类上传了应助文件

34秒前; 赘婿上传了应助文件

36秒前; diu的应助被as采纳，获得10

37秒前; 自然从寒完成签到，获得积分10

37秒前; 疲惫的砂糖橘发布了新的文献求助10

38秒前