Benzophenone doped polydimethylsiloxane: Resist platform for MeV electron beam lithography assisted microlens array fabrication

已完结

文献求助详情

标题	Benzophenone doped polydimethylsiloxane: Resist platform for MeV electron beam lithography assisted microlens array fabrication 二苯甲酮掺杂聚二甲基硅氧烷：MeV电子束光刻辅助微透镜阵列制备的抗蚀剂平台相关领域抵抗平版印刷术材料科学聚二甲基硅氧烷电子束光刻微透镜制作光学 X射线光刻光刻下一代光刻软光刻光刻胶光电子学纳米技术镜头（地质）图层（电子）物理病理医学替代医学
网址	https://doi.org/10.1016/j.mee.2021.111632
DOI	10.1016/j.mee.2021.111632 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：Madhushree Bute; S.D. Dhole; V.N. Bhoraskar; Aditya Abhyankar; Chiaki Terashima; et al 出版日期：2021-10-01
求助人	了然在 2023-10-14 08:42:08 发布自山东，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让科研之路畅通无阻

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: nana完成签到，获得积分10

刚刚; 如来藏完成签到，获得积分10

1秒前; CipherSage上传了应助文件

1秒前; 大力日记本发布了新的文献求助10

1秒前; Xiang发布了新的文献求助10

2秒前; 火星上易真完成签到，获得积分20

4秒前; 汪洋发布了新的文献求助10

5秒前; PM2555完成签到，获得积分10

5秒前; VDC的应助被完美的海秋采纳，获得30

5秒前; 方若剑发布了新的文献求助30

6秒前; 华仔上传了应助文件

7秒前; BingoTang完成签到，获得积分10

7秒前; 危机的硬币完成签到，获得积分10

8秒前; Owen的应助被复杂的绮兰采纳，获得30

8秒前; 要去西农完成签到，获得积分20

8秒前; bkagyin的应助被慈祥的翠桃采纳，获得10

9秒前; 脑洞疼的应助被慈祥的翠桃采纳，获得10

9秒前; 搜集达人的应助被慈祥的翠桃采纳，获得10

9秒前; 隐形曼青的应助被慈祥的翠桃采纳，获得10

9秒前; jevon的应助被慈祥的翠桃采纳，获得10

9秒前; jevon的应助被慈祥的翠桃采纳，获得10

9秒前; 汉堡包的应助被慈祥的翠桃采纳，获得10

9秒前; jevon的应助被慈祥的翠桃采纳，获得10

10秒前; jevon的应助被慈祥的翠桃采纳，获得10

10秒前; 斯文败类的应助被慈祥的翠桃采纳，获得10

10秒前; necal发布了新的文献求助10

12秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

13秒前; 慕青上传了应助文件

13秒前; 啊哈发布了新的文献求助10

16秒前; 烂漫时完成签到，获得积分10

17秒前; 斯文败类上传了应助文件

19秒前; hh0发布了新的文献求助10

19秒前; pianoboy发布了新的文献求助10

20秒前; 无聊的完成签到，获得积分10

20秒前; Singularity的应助被幻月采纳，获得20

20秒前; ke科研小白完成签到，获得积分10

21秒前; zxx完成签到，获得积分10

22秒前; 微风打了烊完成签到，获得积分10

23秒前; Tony12发布了新的文献求助20

24秒前; zhang完成签到，获得积分10

25秒前