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标题
Substrate Handling Techniques for Thin Wafer Processing
薄晶片加工中的衬底处理技术
相关领域
薄脆饼 材料科学 基质(水族馆) 薄膜 胶粘剂 晶片键合 热塑性塑料 纳米技术 光电子学 复合材料 图层(电子) 海洋学 地质学
网址
DOI
10.1007/978-1-4419-7276-7_12 doi
其它 期刊:Springer eBooks
作者:Christof Landesberger; Sabine Scherbaum; Karlheinz Bock
出版日期:2010-11-12
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