Chemical etching of glasses in hydrofluoric Acid: A brief review

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标题	Chemical etching of glasses in hydrofluoric Acid: A brief review 玻璃在氢氟酸中的化学蚀刻相关领域氢氟酸蚀刻（微加工）微观结构材料科学磨料反应离子刻蚀石英各向同性腐蚀干法蚀刻酸蚀纳米技术复合材料矿物学冶金化学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1016/j.matpr.2021.12.110
DOI	10.1016/j.matpr.2021.12.110 doi
其它	期刊：Materials Today: Proceedings 作者：Shubhava; A. Jayarama; Ganesh K. Kannarpady; S. N. Kale; S. S. Prabhu; et al 出版日期：2021-12-24
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