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[高分] Supercritical CO2-based solvents in next generation microelectronics processing
下一代微电子加工中的超临界CO2基溶剂
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网址
https://doi.org/10.1007/s11434-007-0002-x
DOI
10.1007/s11434-007-0002-x doi
其它 期刊：Chinese Science Bulletin
作者：XiaoGang Zhang; Keith P. Johnston
出版日期：2007-01-01
求助人
南宫沂 在 2024-12-25 11:08:48 发布自中国，悬赏 50 积分
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