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标题
Bonding Structure and Dry Etching Characteristics in Amorphous B-C-N Films for Hardmask Applications
硬掩模用非晶B-C-N薄膜的键合结构和干法刻蚀特性
相关领域
无定形固体 干法蚀刻 材料科学 蚀刻（微加工） 结晶学 纳米技术 化学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1016/j.carbon.2024.119218
DOI
10.1016/j.carbon.2024.119218 doi
其它 期刊：Carbon
作者：Hongik Kim; Ung-gi Kim; Deokgi Hong; Sung‐Tae Kim; Seungwu Han; et al
出版日期：2024-05-06
求助人
义气的友容 在 2024-11-01 13:49:37 发布自江苏，悬赏 10 积分
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