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标题
Ultrashort pulse laser repair of photomasks for advanced lithography technologies
先进光刻技术中光掩模的超短脉冲激光修复
相关领域
光掩模 平版印刷术 材料科学 超短脉冲激光器 激光器 无光罩微影 超短脉冲 飞秒脉冲整形 脉搏（音乐） 光电子学 光学 计算光刻 电子束光刻 纳米技术 多重图案 物理 抵抗 图层（电子） 探测器
网址
https://doi.org/10.1117/12.2501408
DOI
10.1117/12.2501408 doi
其它 期刊：
作者：Tod Robinson; Jeff LeClaire
出版日期：2018-10-03
求助人
xiaoyaoswim 在 2025-02-09 00:04:16 发布自四川，悬赏 20 积分
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    xiaoyaoswim xiaoyaoswim 求助人 Lv41 发起了本次求助

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