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 Investigation of the Tetrakis(dimethylamino)hafnium and H2S ALD Process: Effects of Deposition Temperature and Annealing 四（二甲氨基）铪和H2S ALD工艺的研究：沉积温度和退火的影响
相关领域
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铪
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期刊：Solids 作者：Zsófia Baji; Zsolt Fogarassy; Attila Sulyok; P. Petrik 出版日期：2022-05-05 |
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