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标题
Plasma‐enhanced CVD: Oxides, nitrides, transition metals, and transition metal silicides
等离子体增强CVD：氧化物、氮化物、过渡金属和过渡金属硅化物
相关领域
等离子体增强化学气相沉积 化学气相沉积 硅化物 过渡金属 氮化物 材料科学 等离子体 薄膜 氧化物 化学键 化学反应 燃烧化学气相沉积 沉积（地质） 化学工程 纳米技术 无机化学 碳膜 化学 冶金 催化作用 图层（电子） 有机化学 沉积物 量子力学 古生物学 工程类 物理 生物
网址
https://pubs.aip.org/avs/jva/article-abstract/2/2/244/245626...
DOI
10.1116/1.572734 doi
求助人
笑笑 在 2025-02-20 16:49:22 发布自湖北，悬赏 10 积分
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  • 1天前

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  • 1天前

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