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标题
Room temperature nanoimprint aided by electron beam irradiation for polysilsesquioxane
电子束辅助聚倍半硅氧烷室温纳米压印
相关领域
辐照 材料科学 阴极射线 电子束处理 梁（结构） 化学工程 电子 光学 核物理学 物理 工程类
网址
https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad7963
DOI
10.35848/1347-4065/ad7963 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Manabu Yasui; Yoshitake Nishi; Masahito Kurouchi; Satoru Kaneko; Masahiko Mitsuhashi
出版日期：2024-09-11
求助人
孟孟 在 2024-11-23 15:42:19 发布自吉林，悬赏 10 积分
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