标题 |
High crystal quality and low residual stress composite piezoelectric films prepared by a two-step method
两步法制备高晶体质量低残余应力复合压电薄膜
相关领域
残余应力
材料科学
金属有机气相外延
化学气相沉积
复合数
压电
半最大全宽
蓝宝石
复合材料
基质(水族馆)
Crystal(编程语言)
表面粗糙度
薄膜
压力(语言学)
光学
光电子学
纳米技术
外延
计算机科学
激光器
语言学
海洋学
物理
哲学
图层(电子)
程序设计语言
地质学
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其它 |
期刊:Journal of Micromechanics and Microengineering 作者:Binghui Lin; Yao Cai; Sheng Wang; Chao Gao; Gai Wu; et al 出版日期:2023-08-22 |
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