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标题
Diffusion of Boron near Projected Ranges of B and BF2Ions Implanted in Silicon
硼在硅中注入B和BF2离子投影范围附近的扩散
相关领域
硼 离子注入 硅 退火（玻璃） 材料科学 再分配（选举） 扩散 离子 分析化学（期刊） 化学 光电子学 冶金 热力学 政治 政治学 法学 物理 有机化学 色谱法
网址
https://doi.org/10.1143/jjap.47.8696
DOI
10.1143/jjap.47.8696 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Ruey‐Dar Chang; Chih-Hung Lin; Li-Wei Ho
出版日期：2008-12-01
求助人
默默新儿 在 2024-12-04 13:42:04 发布自安徽，悬赏 10 积分
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