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Electronic and bonding structures of amorphous Si–C–N thin films by x-ray absorption spectroscopy
非晶Si-C-N薄膜的x射线吸收光谱研究
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期刊:Applied Physics Letters 作者:H. M. Tsai; J. C. Jan; J. W. Chiou; W. F. Pong; M.-H. Tsai; et al 出版日期:2001-10-08 |
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