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ITO Thin Films Prepared by Synchronal Pulsed RF-DC Sputtering
同步脉冲射频直流溅射制备ITO薄膜
相关领域
溅射
薄膜
材料科学
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光电子学
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化学
溅射沉积
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色谱法
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期刊:World Conference on Photovoltaic Energy Conversion 作者:Manuela Junghähnel; T. Kopte; U. Hartung; M. Junghähnel; R. Nyderle; et al 出版日期:2010-10-28 |
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