Atomic layer deposition of AlN on 2D transition metal dichalcogenides: A combined experimental and theoretical study

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标题	Atomic layer deposition of AlN on 2D transition metal dichalcogenides: A combined experimental and theoretical study 二维过渡金属二硫族化物上AlN的原子层沉积：实验和理论相结合的研究相关领域原子层沉积微电子纳米技术材料科学半导体薄脆饼限制过渡金属工程物理图层（电子）光电子学化学物理机械工程生物化学工程类催化作用
网址	https://doi.org/10.1021/acs.cgd.3c01044
DOI	10.1021/acs.cgd.3c01044 doi
求助人	窝窝头在 2025-03-06 15:08:23 发布自浙江，悬赏 10 积分
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