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[高分]
 Enhanced Ruthenium Removal and Superior Surface Quality via Abrasive‐Free Chemical Mechanical Polishing Using Synergistic Catalysis with the H2O2/PDS/FeIII‐NTA System H2O2/PDS/FeIII-NTA体系协同催化无磨料化学机械抛光提高钌去除率和表面质量
相关领域
化学机械平面化
催化作用
抛光
材料科学
钌
化学工程
表面粗糙度
氧化物
纳米技术
化学
冶金
复合材料
有机化学
工程类
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