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 Blistering-free carbon-doped polysilicon (n+) passivating contact with high surface passivation properties prepared by industrial tube PECVD 工业管PECVD制备高表面钝化性能的无起泡碳掺杂多晶硅（n+）钝化触头
相关领域
钝化
材料科学
等离子体增强化学气相沉积
兴奋剂
饱和电流
硅
载流子寿命
太阳能电池
光电子学
纳米技术
图层（电子）
电压
电气工程
工程类
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| 其它 |
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Haojiang Du; Yiran Lin; Zhixue Wang; Mingdun Liao; Zunke Liu; et al 出版日期：2024-02-01 |
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