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A magnetron sputtering technique to prepare a-C:H films: Effect of substrate bias
磁控溅射制备a-C:H薄膜:衬底偏压的影响
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期刊:Applied Surface Science 作者:Yongxia Wang; Yinping Ye; Hongxuan Li; Ji Li; Jianmin Chen; et al 出版日期:2011-01-01 |
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