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Electron Irradiation Induced Crystallization of Amorphous Al2O3 Films on Silicon Substrates
硅衬底上非晶Al2O3薄膜的电子辐照诱导晶化
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期刊:MRS Proceedings 作者:J. Liu; C. J. Barbero; J. W. Corbett; Krishna Rajan; H. J. Leary 出版日期:1993-01-01 |
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