Structure and properties of Si-implanted VN coatings prepared by RF magnetron sputtering

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标题	Structure and properties of Si-implanted VN coatings prepared by RF magnetron sputtering 射频磁控溅射Si注入VN涂层的结构与性能相关领域材料科学基质（水族馆）溅射沉积摩擦学硅无定形固体溅射腐蚀腔磁控管冶金复合材料薄膜结晶学纳米技术化学地质学海洋学
网址	https://doi.org/10.1016/j.matchar.2016.04.020
DOI	10.1016/j.matchar.2016.04.020 doi
其它	期刊：Materials Characterization 作者：Hongjian Zhao; Lihua Yu; Chaoxu Mu; Fuxing Ye 出版日期：2016-07-01
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