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Growth of Nanostructured Diamond Films on Glass Substrates by Low-Temperature Microwave Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition for Applications in Nanotribology
低温微波等离子体增强化学气相沉积在玻璃衬底上生长纳米金刚石薄膜及其在纳米摩擦学中的应用
相关领域
化学气相沉积
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