使用固体聚合物电解质/CeO2 复合垫的环保电化学机械抛光高效抛光 4H-SiC (0001) 表面

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标题	使用固体聚合物电解质/CeO2 复合垫的环保电化学机械抛光高效抛光 4H-SiC (0001) 表面相关领域抛光薄脆饼材料科学化学机械平面化碳化硅电解质复合数复合材料拉曼光谱机械加工聚合物化学工程纳米技术电极冶金化学光学工程类物理化学物理
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.157190
DOI	10.1016/j.apsusc.2023.157190 doi
求助人	威武的晓槐在 2024-03-12 17:50:30 发布自广东，悬赏 10 积分
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