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标题
Thermally driven multi-layer actuator for 2D cantilever arrays
热力驱动的二维悬臂阵列多层致动器
相关领域
悬臂梁 压阻效应 执行机构 材料科学 偏转(物理) 光电子学 微电子机械系统 图层(电子) 纳米技术 复合材料 电气工程 光学 工程类 物理
网址
DOI
10.1007/s00339-010-6078-1 doi
其它 期刊:Applied Physics A
作者:Y. Sarov; Tzvetan Ivanov; Andreas Frank; Ivo W. Rangelow
出版日期:2010-10-19
求助人
unicorn 在 2024-01-23 13:25:18 发布自辽宁,悬赏 10 积分
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    unicorn unicorn 求助人 Lv3 发起了本次求助

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