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![]() Si衬底上低界面态高介电常数Y2O3薄膜
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena 作者:G. Alarcón-Flores; M. Aguilar‐Frutis; C. Falcony; M. García‐Hipólito; José de Jesús Araiza Ibarra; et al 出版日期:2006-07-01 |
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