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 Holographic techniques using spatial light modulators applied to maskless photolithography 应用于无掩模光刻的空间光调制器全息技术
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期刊：2021 SBMO/IEEE MTT-S International Microwave and Optoelectronics Conference (IMOC) 作者：R. F. Marinheiro; Marcos R. R. Gesualdi 出版日期：2017-08-01 |
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