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 Atomic-scale study of vacancy defects in SiC affecting on removal mechanisms during nano-abrasion process 纳米磨损过程中SiC中空位缺陷对去除机理影响的原子尺度研究
相关领域
磨料
材料科学
空位缺陷
磨损（机械）
钻石
化学机械平面化
纳米-
纳米尺度
分子动力学
抛光
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计算化学
化学
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期刊：Tribology International 作者：Piao Zhou; Tao Sun; Xunda Shi; Jun Li; Yongwei Zhu; et al 出版日期：2019-12-24 |
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